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SemiQuarz Wafer etabliert sich als einer der weltweit führenden Hersteller von Quarz-, Glas- und Saphirwafern

SemiQuarz Wafer zieht rund sechs Monate nach seinem Produktionsstart im Mai 2010 eine erfolgreiche Zwischenbilanz
(PM) Allershausen, 21.12.2010 - Bereits sechs Monate nach Produktionsbeginn etabliert sich SemiQuarz Wafer als einer der weltweit führenden Hersteller von Quarz-, Glas- und Saphirwafern für die Halbleiter- und Solarindustrie. Diese Substrate gelten als ein wichtiges Basis- und Trägermaterial in der Mikroelektronik- und Mikrosystemtechnik – zum Beispiel in MOEMS und MEMS. Hier setzen die Produkte der SemiQuarz Wafer GmbH an: Das Unternehmen bietet seinen Kunden maßgeschneiderte Quarz-, Glas- und Saphirwafer. Die kundenspezifischen Anforderungen – unter anderem chemisch resistente und optisch transparente Substrate – werden im Rahmen verschiedener Veredelungsprozesse erreicht. SemiQuarz Wafer vertreibt weltweit seine Produkte mit Partnern in Europa, den USA, Singapur und Taiwan. Nach einem halben Jahr fortlaufender Produktion zieht das Unternehmen mit Sitz im deutschen Allershausen eine erfolgreiche Zwischenbilanz.

„Wir produzieren bis zu mehrere tausend Wafer pro Monat und konnten unsere Auslastung bereits bis ins nächste Frühjahr hinein sichern“, erklärt Mike Fritzsche, CEO der SemiQuarz Wafer GmbH. „Dabei kommen uns natürlich unsere Erfahrung und Technologiekenntnisse zu Gute: Seit mehr als zehn Jahren beschäftigen wir uns mit Wafern. Die Gründung der SemiQuarz Wafer GmbH in diesem Jahr war da nur ein logischer Schritt.“ Mit einem Team von Experten und dem notwendigen Prozess-Know-how konnte das Unternehmen bereits mehrere Kunden gewinnen – darunter international führende Chip- und Gerätehersteller. „Wenn wir von Erfolg sprechen, denke ich auch an unsere Kundenzufriedenheitsrate von 98 Prozent – gemessen an unserer durchgeführten Befragung und den festgestellten Beanstandungen“, bilanziert Mike Fritzsche weiter. „Das ist die Basis für eine erfolgreiche und nachhaltige Entwicklung des Unternehmens.“

Die Anforderungen des Kunden im Blick

Im Auftrag seiner Kunden fertigt SemiQuarz Wafer die verschiedensten Substrattypen, deren Beschaffenheit stets an die Bedürfnisse des Kunden angepasst wird. Quarz-, Glas- und andere Spezial-Wafer werden mit einem Durchmesser von 4“ (100 mm) bis 300 mm angeboten, Saphir-Wafer mit Durchmesser von 4“ bis 8“ (200 mm). „Die Dicke beginnt bei 100 μm“, erklärt Mike Fritzsche. „Das heißt also, bei den Wafern handelt es sich um ein sehr dünnes und sprödes Trägermaterial. Wir können aber selbst Dickenschwankungen von weniger als dem Zehntel eines Haares feststellen und auf diese Weise ausschließen.“ Darüber hinaus fertigt das Unternehmen seine Wafer mit kundenspezifischen Strukturen, Beschichtungen (zum Beispiel Chrom oder Gold) und als Glas/Quarz-Si-Verbundsysteme. Allen Wafern gemeinsam: Sie werden unter Reinraumbedingungen der Klasse ISO 4-6 gefertigt, wodurch eine Kontamination der Wafer-Oberflächen stark limitiert wird.

Innovation: Cluster-Analyse

Auch ein ausgeklügeltes Qualitätsmanagement-System trägt dazu bei, die hohen Qualitätsstandards der Wafer zu sichern. Das System ermöglicht SemiQuarz Wafer jeden einzelnen Wafer während der Produktion und der Auslieferung zu überprüfen und zu verfolgen. Neben Dickenschwankungen sind es vor allem Partikel und Kratzspuren auf den dünnen Wafern, die als zu bewältigende Herausforderungen bei der Produktion gelten. Um zu gewährleisten, dass alle im Werk gefertigten Wafer bei Auslieferung den hohen Standards entsprechen, hat SemiQuarz Wafer eine automatisierte Cluster-Analyse entwickelt und im Rahmen der Produktion fest verankert. Diese erkennt Oberflächendefekte wie Kratzer, Partikel und Ausbrüche. Das eigens entwickelte Tool basiert auf DBSCAN (Density-Based Spatial Clustering of Applications with Noise) und ermöglicht es, jeden einzelnen Wafer gründlich zu untersuchen. Das System fängt zunächst ein Bild des Wafers ein und führt auf Basis eines bestehenden Algorithmus eine Echtzeit-Analyse durch. Anschließend fasst das System alle entdeckten Fehler zusammen und zeigt die Fehlermeldungen in einer Grafik an. Dadurch können die Wafer klassifiziert werden. Das System stellt damit sicher, dass die Kunden ausschließlich einwandfreie Wafer erhalten, die sie direkt weiterverarbeiten können. „Mit Innovationen wie diesen wollen wir unseren Wettbewerbsvorsprung ausbauen und weitere Kunden begeistern“, blickt Mike Fritzsche optimistisch in die Zukunft.

Weitere Informationen über SemiQuarz Wafer finden sich unter: www.semiquarzwafer.com
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SemiQuarz Wafer ist einer der weltweit führenden Hersteller von maßgeschneiderten Quarz-, Glas- und Saphirwafern. Die Produkte des 2010 gegründeten Unternehmens werden als Basis- und Trägermaterial in der Mikrosystemtechnologie ...
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